氧化锆（ZTA）基板
Innovacera 的氧化锆增韧氧化铝 (ZTA)基板结合了氧化锆的卓越强度和氧化铝的稳定性，具有优异的机械性能、高反射率和出色的抗热冲击性。这些基板外观呈致密的白色，表面光洁度极佳，可确保在中等功率电子和光学应用中可靠运行。其强大的韧性和精密加工能力使其成为中等功率电源模块、LED 照明系统和精密仪器的理想选择。
特性
• 高强度 • 高反射率 • 高耐热冲击性 • 优异的加工性能应用
• 中功率电源模块 • 中功率 LED • 仪器仪表材料属性表
| 项目 | 测试条件 | 单位 | Al₂O₃/ZrO₂ | |
| ZTA | ||||
| 材料 | - | - | Al₂O₃/ZrO₂ | |
| 外观 | - | - | 白色致密 | |
| 表面粗糙度 | Ra | μm | 0.2~0.5 | |
| 密度 | - | g/cm³ | ≥3.85 | |
| 物理性能 | 抗弯强度 | 三点抗弯 | MPa | ≥550 |
| 维氏硬度 | 载荷 4.9 | GPa | ≥14 | |
| 吸水率 | - | % | 0 | |
| 热性能 | 导热系数 | 25℃ | W/(m·k) | ≥23 |
| 线膨胀系数 | 25-500℃ | 1×10⁻⁶ mm/℃ | 6.6~7.5 | |
| 耐热震性 | 800℃ | 次数 | ≥10 | |
| 比热容 | - | J/(kg·K) | 720 | |
| 电性能 | 介电常数 | 1MHz/25℃ | - | 10~11 |
| 介电损耗 | 1MHz/25℃ | ×10⁻⁴ | ≤3 | |
| 体积电阻率 | 25℃ | Ω·cm | >10¹⁴ | |
| 击穿电压 | - | kV/mm | >15 | |
| 光学性能 | 反射率 | 反射率仪 | - | ≥95% |
| 白度 | 白度计 | - | - | |
规格和尺寸
| 材料 | 单位 | Al₂O₃ | ZTA | AlN | Si₃N₄ |
| 有效尺寸（A , B） | mm | 50.8-190 | 50.8-190 | 50.8-190 | 138*190 |
| 厚度（T） | mm | 0.25-1.5 | 0.25-1.5 | 0.25-1.0 | 0.25 , 0.32 |
| 厚度公差 | mm | ±5% (最小 ±0.03mm) | ±5% (最小 ±0.03mm) | ±5% (最小 ±0.03mm) | ±5% (最小 ±0.03mm) |
| 翘曲度（C） | mm | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% |
| 表面粗糙度 | μm | 0.2-0.6 | 0.2-0.5 | 0.2-0.75 | 0.2-0.75 |
| 尺寸、厚度及表面粗糙度可定制 | |||||
加工
• 激光加工
• 研磨与抛光片粗糙度表
| 项目 | 合格级 | 特级 | ||
| 内尺寸公差 | ±0.05mm | ±0.03mm | ||
| 外尺寸公差 | ±0.15mm | ±0.1mm | ||
| 孔位公差（φ0.07–0.15mm） | ±0.05mm | ±0.02mm | ||
| 孔位公差（φ＞0.15mm） | ±0.1mm | ±0.02mm | ||
| 项目 | 表面粗糙度（μm） | |||
| 合格级 | 特级 | |||
| 研磨 | 0.3-0.6 | 0.3-0.5 | ||
| 精磨 | 0.1-0.4 | 0.1-0.3 | ||
| 抛光 | ≤0.1 | ≤0.05 | ||
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