Las piezas de cerámica de alúmina se utilizan para piezas rotativas en máquinas de fotolitografía y en vacío. Esto requiere una precisión de mecanizado extremadamente alta, y la desviación del círculo interior debe ser inferior a 2 micras.
La cerámica fina se ha convertido en un componente clave de los equipos semiconductores. Especialmente en máquinas de litografía de alta gama, para lograr una alta precisión de proceso, es necesario el uso generalizado de componentes cerámicos con buena composición funcional, estabilidad estructural, estabilidad térmica y alta precisión dimensional. Como mandriles E, mandriles de vacío, bloques, placas de acero con esqueleto magnético refrigeradas por agua, reflectores, rieles guía, etc.
Piezas de cerámica de alúmina para fotolitografía Máquinas
Otras piezas cerámicas de alta precisión utilizadas en la industria de semiconductores. La cerámica de precisión se ha convertido en un componente clave de los equipos para semiconductores, incluyendo hornos monocristalinos, equipos de implantación de iones, máquinas de fotolitografía, equipos de CVD/PVD y equipos de envasado y prueba.
Innovacera puede proporcionar los materiales necesarios, incluyendo cerámica de alúmina, cerámica de nitruro de aluminio, cerámica de nitruro de silicio, cerámica de nitruro de boro/nitruro de boro pirolítico, carburo de silicio y cerámica microporosa.
Cerámica fina utilizada en la industria de semiconductores
