盖板加热器

.special-char { font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, Arial, sans-serif!important;vertical-align: baseline;font-style: normal;font-weight: 300;} 在半导体制造过程中，氮化铝陶瓷晶圆盖板是承载晶圆的关键部件，其性能的好坏直接影响晶…