晶圆加热板

.special-char { font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, Arial, sans-serif!important;vertical-align: baseline;font-style: normal;font-weight: 300;} 热压氮化铝 (AlN) 陶瓷在半导体制造设备中用作晶圆加热板和晶圆固定静电吸盘。 …