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January 01,1970
用于等离子蚀刻设备的氮化铝 (AlN) 喷嘴
高耐性工艺级氮化铝 (AlN)是许多半导体设备和应用的理想材料。 Innovacera 设计氮化铝 (AlN) 喷嘴,以实现精确的气体流速和均匀的控制,从而将气体均匀地分散到蚀刻工艺室中。这些组件需要具有高等离子体抗性、介电强度以及对工艺气体和副产品的强耐腐蚀性。 氮化铝材料特性 特性 INC-AN180 INC-AN200 INC-AN220 颜色 灰色 灰色 米色 主页内容 96%ALN 96%ALN 97%ALN 主要特性 高导热性、优异的耐等离子性 主要用途 散热零件、耐等离子性零件 散装密度 3.30 3.30 3.28 吸水率 0.00 0.00 维氏硬度(负载 500g) 10.00 9.50 9.00 抗弯强度 >=350 >=325 >=280 抗压强度 2,500.00 2,500.00 – 杨氏弹性模量 320.00 320.00 320.00 泊松比 0.24 0.24 断裂韧性 – – – 线性热膨胀系数