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January 01,1970
Envases cerámicos para sistemas microelectromecánicos (MEMS): Soluciones para entornos hostiles
A diferencia de los dispositivos monofuncionales fabricados mediante técnicas de fabricación tradicionales, los sistemas microelectromecánicos (MEMS) son sistemas electromecánicos controlables de tamaño micrométrico que integran estructuras micromecánicas, sensores, actuadores y componentes electrónicos. Este tipo de producto ofrece numerosas ventajas, como su pequeño tamaño, peso ligero, bajo coste, bajo consumo de energía, alta fiabilidad, producción en