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熱分解窒化ホウ素 (PBN) セラミックス
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Steps in Manufacturing Pyrolytic Boron Nitride Ceramic Parts

熱分解窒化ホウ素 (PBN) セラミックス

熱分解窒化ホウ素 は、熱分解窒化ホウ素粉末を主原料とする高性能セラミックス材料です。 主な特徴として、高温安定性に優れ、超高温下でも構造的完全性を維持でき、電子・電気用途の電気絶縁性に優れています。 さらに、化学的安定性が高く、さまざまな化学薬品に耐性があります。 熱分解窒化ホウ素セラミックスは、高温工業プロセス、半導体製造、電子パッケージング、航空宇宙などの分野で、断熱性、耐食性、電気絶縁性、高温環境での部品製造など、さまざまな用途に使用されています。

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CVDプロセスの性質上、熱分解窒化ホウ素 (PBN)部品は通常3mm以下の肉厚が必要です。 極めて純度の高い窒化ホウ素にも適しています。99.99%が典型的なグレードです。CVDプロセスは、この熱分解窒化ホウ素にほぼ完全な層状構造を与え、その結果、熱伝導率が異方性となり、結晶成長ルツボの製造に最適な素材です。

PBNセラミックスの用途:

結晶成長 (VGF、LEC ルツボ) 分子線エピタキシー(MBE)ルツボ MOCVDヒーター PBN赤外線ウィンドウ トラベリングウェーブチューブ(TWT)(PBNサポートバー) PBNコート黒鉛 高温・真空装置用絶縁体

PBNセラミックスの特徴:

PBNは象牙色と橙褐色を呈し、無毒、無孔質で加工が容易です。 純度は99.99%までで、表面は緻密でガスバリア性に優れています。 強度は温度とともに増加し、2200℃でピークに達します。 酸、アルカリ、塩、有機試薬に耐性がある同時に、ほとんどの溶融金属や半導体材料とは反応しないです。 優れた耐熱衝撃性、優れた熱伝導性、低い熱膨張係数です。 高抵抗、高誘電率、低誘電率、低損失係数、優れたマイクロ波および赤外線能力です。 機械的・熱的・電気的に異方性があります。

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Pyrolytic Boron Nitride (PBN) Ceramics

Version

2023-10-31

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