イオン源用窒化アルミニウム/窒化ホウ素複合BN-AlNセラミック部品

BN-ALNセラミックスは、窒化ホウ素粉末と窒化アルミニウム粉末を焼結したセラミックスです。
優れた電気絶縁性、良好な熱伝導性、高強度、耐熱衝撃性、耐ハロゲンガスプラズマ性を有し、半導体製造装置用部品、放熱効果を必要とする部品など幅広い用途に使用されています。