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MOCVD/MBE装置用PBN基板

PBN絶縁板

PBN プレートは、絶縁パッド、ガスケット、ブラケットなどの材料として使用でき、真空、高温、分子線エピタキシー (MBE) 装置の分野で広く使用されています。

熱分解窒化ホウ素(PBN)は、無孔性で無毒性の白色固体です。窒化ホウ素はプレス成形または焼結によって形成されますが、高純度PBN製品は1800℃の高温と極低圧下で蒸着処理されます。

特性

  1. PBN材料は、真空環境で2300℃、アンモニア環境で2700℃の高温に耐えることができます。
  2. 高純度(>99.99%)のため、高温で使用してもガス不純物は発生しません。
  3. 優れた靭性を有し、グラファイトの六方晶系構造に類似しています。
  4. 優れた高温絶縁性を有し、体積抵抗率は3.11×1011Ω·cmです。
  5. 化学的に不活性で、酸、アルカリ、有機溶剤による腐食に耐性があります。
  6. 熱伝導を防ぐことで熱損失を低減します。

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