四极杆质量过滤器
Innovacera的四极杆质量过滤器（简称四极杆）是四极杆质谱仪的核心部件。它通常由四根平行的圆柱形或双曲面金属杆组成。施加两对电极：直流电压（DC，U）和射频电压（RF，V·cos(ωt)）。四极杆质量分析器基于离子在振荡电场中轨迹的稳定性来分离离子。
| 结构 | 数值 |
| 材料选项 | 陶瓷镀金/不锈钢/钼 |
| 杆直径 | 2-16mm |
| 杆长度 | 100-300mm |
| 基座 | 氧化铝陶瓷/可加工玻璃陶瓷 |
| 综合精度 | ≤3μm |
| 类型 | 单位 | 标准 | 数值 |
| 颜色 | - | - | 象牙色 |
| 主要特性 | - | - | 优异的等离子体耐腐蚀性，高耐磨性。 |
| 应用领域 | - | - | 半导体设备部件、耐磨及耐腐蚀零件。 |
| 密度 | g/cm3 | ISO18754:2003 | 3.88 |
| 吸水率 | % | - | 0 |
| 维氏硬度 | HV | ASTM-C1327-15 | 17 |
| 抗弯强度 | MPa | ASTM-C1161-13 | 350 |
| 抗压强度 | MPa | GB/T8489-2006 | 2450 |
| 杨氏模量 | GPa | ASTM-C1198-09 | 350 |
| 泊松比 | - | ASTM-C1421-18 | 0.22 |
| 断裂韧性 | MPa·m1/2 | ASTM-C1421-18 | 4-5 |
| 线膨胀系数 (40-400°C) | x10-6/°C | ASTM-E1461-13 | 8.2 |
| 导热系数 (20°C) | W/(m·k) | ASTM-E1461-13 | 25-30 |
| 比热容 | J/(kg·k)x103 | ASTM-E1461-13 | 0.8 |
| 体积电阻率 (20°C) | Ω·cm | - | >1015 |
| 介电强度 | KV/mm | - | 20 |
| 介电常数 | - | ASTM-D2149-13 | 9.2 |
| 介电损耗系数 | x10-4 | ASTM-D2149-13 | 2 |
| 硝酸 (HNO3) (90°C) | 重量损失 | - | <0.12 |
| 硫酸 (H2SO4) (95°C) | - | <0.3 | |
| 氢氧化钠 (NaOH) (80°C) | - | <0.9 | |
| 最高使用温度 | °C | - | 1500 |
- 可定制规格
- 优越的表面处理技术
- 高精度安装，3μm 综合公差
- 一致的工艺管理
- 高纯度氧化铝陶瓷套件
- 高质量腔室及配件集成
By Materials
Application
Download
How to get a quote?
We will support your project with the required technical and developmental support
Inquiry
Proposal
Order
Production
Delivery