氮化铝（AlN）基板
Innovacera 的氮化铝 (AlN) 衬底具有卓越的导热性、与硅高度匹配的热膨胀系数以及优异的电绝缘性，是高功率电子应用的理想之选。凭借卓越的机械强度、高击穿电压和出色的抗热冲击性，AlN 衬底确保在严苛环境下也能可靠运行。其精密加工能力和可定制规格使其非常适合用于 IGBT 功率模块、大功率 LED 和先进散热组件。
特性
• 高导热性 • 热膨胀系数接近硅片 • 高击穿电压应用
• 高功率IGBT功率模块 • 高功率LED • 高功率散热器 材料特性表| Project | 测试条件 | 单元 | AlN | |||
| AN-170 | AN-200 | AN-230 | ||||
| 材料 | - | - | AlN | AlN | AlN | |
| 外貌 | - | - | 浅蓝色 | 浅褐色的 | 浅褐色的 | |
| 表面粗糙度 | Ra | μm | 0.2~0.75 | 0.2~0.75 | 0.2~0.75 | |
| 密度 | - | g/cm 3 | ≥3.3 | |||
| 物理性质 | 弯曲强度 | 三点弯曲阻力 | MPa | ≥400 | ≥350 | ≥300 |
| 维氏硬度 | 负荷 4.9 | GPa | ≥10 | |||
| 吸水率 | - | % | - | |||
| 热性能 | 热导率 | 25℃ | W/(m·k) | ≥170 | ≥200 | ≥230 |
| 线膨胀系数 | 25-500℃ | x10 -6 mm/℃ | 4~6 | |||
| 抗热冲击性 | 800℃ | Time | ≥10 | |||
| 比热容 | - | J/(kg·K) | 720 | |||
| 电气特性 | 介电常数 | 1MHz/25℃ | - | 8~9 | ||
| 介电损耗 | 1MHz/25℃ | x10 -4 | ≤3 | |||
| 体积电阻率 | 25℃ | Ω·cm | > 10 14 | |||
| 击穿电压 | - | kV/mm | > 17 | |||
| 轻型性能 | 反射率 | 反射率计 | - | - | ||
| 白 | 白度计 | - | - | |||
| 尺寸(mm) 厚度 ( mm ) | 0.25 | 0.38 | 0.5 | 0.635 | 0.76 | 1.0 | 1.2 | 1.5 | 2.0 |
| 101.6*101.6 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 114.3*114.3 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 120*120 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 138*190 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
加工
• 激光加工
• 磨削抛光板材粗糙度表
| Project | Qualified | 特级 | ||
| 内部尺寸公差 | ±0.05mm | ±0.03mm | ||
| 外部尺寸公差 | ±0.15mm | ±0.1mm | ||
| 孔径公差 (φ0.07-0.15mm) | ±0.05mm | ±0.02mm | ||
| 孔径公差 (φ ＞ 0.15mm) | ±0.1mm | ±0.02mm | ||
| Project | 表面粗糙度 (μm ) | |||
| 合格的 | 特级 | |||
| Grinding | 0.3-0.6 | 0.3-0.5 | ||
| 精磨 | 0.1-0.4 | 0.1-0.3 | ||
| 抛光 | ≤0.1 | ≤0.05 | ||
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