Das Arbeitsprinzip des Hochvakuum-Ionisationsmessers besteht darin, das Ionisationsphänomen von Gas unter Hochvakuumbedingungen zu nutzen. Er besteht aus einer Ionisationskammer und einem Elektronenkollektor. Wenn Gasmoleküle in die Ionisationskammer gelangen, werden sie durch Methoden wie Heizdrähte oder Elektronenstrahlen ionisiert, um positive Ionen und freie Elektronen zu erzeugen. Die positiven Ionen werden durch die elektrische Feldkraft zum Elektronenkollektor angezogen, und die freien Elektronen werden beschleunigt, sodass ein elektrischer Strom fließt.
Durch Messen der Stromstärke in der Ionisationskammer kann die Dichte der Gasmoleküle und der Vakuumgrad abgeleitet werden. Im Allgemeinen ist die Dichte der Gasmoleküle positiv mit dem Strom verbunden. Daher bedeutet ein Anstieg des Stroms, dass der Vakuumgrad niedrig ist; im Gegenteil bedeutet ein Rückgang des Stroms, dass der Vakuumgrad hoch ist.
Messbereich
- Beim Messen von niedrigem Druck hohe Spannung und eine große Ionisationskammer verwenden;
- Beim Messen von hohem Druck niedrige Spannung und eine kleine Ionisationskammer verwenden.
Messbereich 0.1~10^-8 Pa
