高真空电离计的工作原理是利用高真空条件下气体的电离现象，由电离室和电子收集器组成。当气体分子进入电离室后，通过加热丝或电子束等方式电离，产生正离子和自由电子，正离子在电场力的作用下被吸引到电子收集器上，自由电子被加速后产生电流。
通过测量电离室中电流的大小，可以推断出气体分子的密度和真空度。一般来说，气体分子的密度与电流成正相关。因此，电流增大，表示真空度低；反之，电流减小，表示真空度高。
测量范围
- 测量低压时，使用高电压和大尺寸电离室；
- 测量高压时，使用低电压、小尺寸电离室。
测量范围 0.1~10^-8 Pa
