窒化ホウ素セラミックスの材質
- 熱分解窒化ホウ素：窒化ホウ素 99.99%*
- UHB：窒化ホウ素 >99.7%
- HB：窒化ホウ素 >99%
- BC：窒化ホウ素 >97.5%
- BAN：窒化ホウ素 + 窒化アルミニウム
- BMZ：窒化ホウ素 + 酸化ジルコニウム
- BMA：窒化ホウ素 + 酸化ジルコニウム + 酸化アルミニウム
- BSC：窒化ホウ素 + 炭化ケイ素
- BMS：窒化ホウ素 + 酸化ケイ素 + 酸化アルミニウム
- BSN：窒化ホウ素 + 窒化ケイ物
窒化ホウ素セラミックスの加工
- ホットプレス焼結
- 化学蒸着法
窒化ホウ素セラミックスの用途
-
熱管理
優れた電気絶縁性と熱伝導性により、BNは高出力電子機器のヒートシンクとして非常に有用です。その特性は、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、その他の電子パッケージング材料と比較して優れており、所望の形状やサイズへの加工が容易です。
-
高温環境
BNは、温度安定性と優れた耐熱衝撃性により、プラズマアーク溶接装置、拡散源ウェーハ、半導体結晶成長装置・処理など、最も過酷な高温環境に最適な材料です。
-
溶融金属のハンドリング
BNは無機物であり、不活性で、ハロゲン化物塩や試薬と反応せず、ほとんどの溶融金属やスラグとは濡れません。これらの特性と低熱膨張性により、様々な溶融金属プロセスで使用されるインターフェース材料として最適です。
窒化ホウ素セラミックスの比較
| 特性 | 単位 | UHB | HB | BC | BMS | BMA | BSC | BMZ | BAN | BSN |
| 主成分 | - | BN>99.7% | BN>99% | BN>97.5% | BN+SiO2 | BN+Al2O3 | BN+SiC | BN+ZrO2 | BN+AlN | BN+Si3N4 |
| 色 | - | 白 | 白 | 白グラファイト | 白グラファイト | グレイッシュグリーン | ホワイトグラファイト | グレイッシュグリーン | グレーブラック | |
| 密度 | g/cm3 | 1.6 | 2 | 2.0~2.1 | 2.2~2.3 | 2.25~2.35 | 2.4~2.5 | 2.8~2.9 | 2.8~2.9 | 2.2~2.3 |
| 3点曲げ強度 | MPa | 18 | 35 | 35 | 65 | 65 | 80 | 90 | 90 | / |
| 圧縮強度 | MPa | 45 | 85 | 70 | 145 | 145 | 175 | 220 | 220 | 400～500 |
| 熱伝導率 | W/(m·k) | 35 | 40 | 32 | 35 | 35 | 45 | 30 | 85 | 20~22 |
| 熱膨張係数(20～1000℃) | 10-6/K | 1.5 | 1.8 | 1.6 | 2 | 2 | 2.8 | 3.5 | 2.8 | / |
| 最高使用温度 大気中 不活性ガス中 高真空中 (長時間) |
°C | 900 2100 1800 |
900 2100 1800 |
900 2100 1900 |
900 1750 1750 |
900 1750 1750 |
900 1800 1800 |
900 1800 1800 |
900 1750 1750 |
900 1750 1700 |
| 室温電気抵抗率 | Ω·cm | >1014 | >1014 | >1013 | >1013 | >1013 | >1012 | >1012 | >1013 | / |
| 主な用途 | - | 窒化物焼結 | 高温炉 | 高温炉 | 粉末冶金 | 粉末冶金 | 粉末冶金 | 金属鋳造 | 粉末冶金 | 金属鋳造 |
| 高温電気炉部品 | - | - | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 金属蒸発るつぼ | √ | √ | √ | |||||||
| 金属またはガラスを溶解するための容器 | - | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 貴金属および特殊合金の鋳造金型部品。 | - | - | - | √ | - | √ | - | - | √ | √ |
| 高温サポート部品 | - | - | - | - | - | √ | - | √ | √ | √ |
| 溶融金属のノズルと輸送管 | - | - | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 窒化物焼結（サガーとセッタープレート） | - | √ | - | - | - | - | - | - | - | - |
注: この値はあくまでも参考値であり、使用条件によって多少の違いが生じます。
