真空および高温用途向け高性能セラミック・金属封止電極
当社は、過酷な環境向けにカスタムセラミック電極および真空セラミックフィードスルーアセンブリを製造しています。優れた耐高温性、真空保持性、そして信頼性の高い電気絶縁性を実現します。
代表的なマルチピン真空セラミック電極アセンブリの特徴：
– 高温絶縁セラミックボディ
– SUS304ステンレス鋼フランジ
– マルチ電極構成（4～5ピンでカスタマイズ可能）
– Oリングシール溝設計
– 精密加工された取付インターフェース
– 絶縁ステンレス鋼スタッドとナット
このタイプの製品は、以下の用途で幅広く使用されています。
– 真空炉
– 半導体製造装置
– 分析機器
– プラズマシステム
– 高温反応炉
– 電力供給システム
当社の主要製造能力
高度なセラミック加工
当社は、以下の特長を備えた高純度アルミナ絶縁セラミックスを製造しています。
– 優れた絶縁耐力
– 400℃を超える長期熱安定性
– 高真空下での動作（100 Pa以下、ご要望に応じてそれ以上の真空度も可能）
– 高い耐熱サイクル性
使用可能なセラミック材料：
– アルミナ95%～99.7%
– ご要望に応じて特注グレードのセラミックも承ります
精密金属部品
– SUS304 / SUS316 ステンレス鋼フランジ
– CNC精密加工
– 真空シールインターフェースの厳密な寸法管理
– 国際規格に準拠したOリング溝加工
– 真空用途に合わせた表面仕上げ
当社では以下のサービスを提供しています：
– アクティブろう付け
– 金属化＋ろう付け
– 気密封止ソリューション
主な特長：
– スタッドとフランジ間の確実な電気絶縁
– 絶縁抵抗 ≥10 MΩ
– 均一な接合強度を実現する制御されたろう付けプロセス
– 最適な熱膨張率のマッチング
真空・リークテスト対応
各アセンブリは、お客様のご要望に応じて以下のテストを実施できます。
– ヘリウムリークテスト
– 電気絶縁テスト
– 耐電圧テスト
– 寸法検査
– 動作電流テスト（標準範囲1A～10A、最大220V、またはカスタマイズ可能）
設計によっては、リーク率目標を高真空基準まで達成できます。
カスタムマルチピン構成
以下の構成に対応しています：
– 2～12ピンのフィードスルー構造
– M3 / M4 / M6ネジ付きスタッド
– カスタムフランジ径
– カスタムボルトパターン
– 高電流フィードスルー設計
設計の柔軟性により、お客様は以下の項目を変更できます。
– ピン数
– 絶縁構造
– シール方式
– 電気的性能パラメータ
エンジニアリングサポート＆迅速な開発
当社のエンジニアリングチームは、以下の分野でサポートを提供いたします。
– 製造性を考慮した図面最適化
– 熱応力解析
– 真空適合性レビュー
– コスト削減提案
– 検証のための迅速なプロトタイピング
当社はヨーロッパ、北米、アジアのOEM顧客と緊密に連携し、産業機器メーカー向けに信頼性の高い長期的な供給ソリューションを提供しています。
当社を選ぶ理由
– 高度なセラミック材料に関するノウハウ
– 安定したろう付け品質管理
– 柔軟なカスタマイズ対応
– 真空試験による信頼性
– 競争力のある価格体系
– 迅速なエンジニアリングコミュニケーション
当社は単に部品を製造するだけでなく、信頼性の高い真空断熱ソリューションを提供します。
