El principio de funcionamiento del medidor de ionización de alto vacío consiste en utilizar el fenómeno de ionización del gas en condiciones de alto vacío. Se compone de una cámara de ionización y un colector de electrones. Cuando las moléculas de gas ingresan a la cámara de ionización, son ionizadas mediante métodos como hilos calentados o haces de electrones para producir iones positivos y electrones libres. Los iones positivos son atraídos hacia el colector de electrones por la fuerza del campo eléctrico, y los electrones libres son acelerados causando que fluya una corriente eléctrica.
Al medir la magnitud de la corriente en la cámara de ionización, se puede inferir la densidad de las moléculas de gas y el grado de vacío. En general, la densidad de las moléculas de gas está relacionada positivamente con la corriente. Por lo tanto, cuando la corriente aumenta, significa que el grado de vacío es bajo; por el contrario, cuando la corriente disminuye, significa que el grado de vacío es alto.
Rango de medición
- Utilice un voltaje alto y una cámara de ionización de gran tamaño al medir baja presión;
- Al medir alta presión, utilice una cámara de ionización de bajo voltaje y pequeño tamaño.
Rango de medición: 0.1~10^-8 Pa
