Los anillos de enfoque de cerámica de alúmina sirven como componentes críticos en el equipo de grabado en plasma, principalmente en la cámara de grabado. Los anillos están estratégicamente posicionados para optimizar la distribución de plasma y mantener la uniformidad durante el proceso de grabado.
Los procesos de fabricación de semiconductores exigen operar en entornos de salas limpias, especialmente para componentes utilizados en condiciones de alta temperatura, vacío y gas corrosivo. Los materiales cerámicos mantienen una alta estabilidad en estos entornos físicos y químicos complejos.
El Anillo de Enfoque Cerámico es una pieza crítica para el proceso de grabado de semiconductores. Cuando se elige la aleación de aluminio como material de la cámara de grabado, fácilmente puede causar contaminación por partículas metálicas. Por lo tanto, se utiliza cerámica de alúmina de alta pureza (superior al 99,5%) en la fabricación de Anillos de Enfoque Cerámicos como material de cámara para equipos de grabado en plasma.
Características de los Anillos de Enfoque Cerámicos:
- Resistencia al desgaste,
- Resistencia a la corrosión,
- Excelentes propiedades mecánicas,
- Aislamiento eléctrico,
- Cumplen con los estándares de calidad del producto semiconductor.
Innovacera cuenta con una amplia experiencia en soluciones de cerámica técnica, componentes cerámicos avanzados e industria semiconductorial desde hace más de 10 años. Hemos establecido un sistema de calidad de alto estándar y un riguroso proceso de control de calidad, sometiendo cada lote de productos a una estricta inspección de calidad. La filosofía de servicio de Innovacera es satisfacer los requisitos de calidad y la satisfacción del cliente.
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